铝钛合金溅射靶材应用
铝钛靶材经磁控/反应溅射,可制备AlTi金属膜、TiAlN硬质涂层、AlTiO光学薄膜,覆盖刀具模具、装饰镀膜、半导体、光学、新能源、航空科研等领域。
一、硬质TiAlN刀具模具涂层
氮气氛围下反应生成TiAlN多元硬质涂层,硬度HV3000左右,抗氧化温度800~900℃,耐磨、抗高温氧化、抑制积屑瘤,是市场通用主流刀具涂层材料。
1.数控切削刀具
硬质合金铣刀、钻头、丝锥、铰刀、可转位刀片,加工不锈钢、碳钢、铸铁、高温合金,提升切削速度、延长刀具寿命,干切削工况表现优异。
2.各类工业模具
冷冲压模具、压铸模具、注塑模具、冲头;涂层耐磨损、抗冷热疲劳、脱模顺滑,减少工件拉伤、模具崩边。
3.机械耐磨零部件
轴承、滑块、液压阀、齿轮配件,重载摩擦工况长效耐磨防腐。
二、装饰耐磨镀膜
低钛配比AlTi合金溅射膜层呈现哑光枪灰、浅金属原色,膜层硬度高、耐刮擦、耐腐蚀、抗指纹,外观质感均匀稳定。
1. 消费电子:手机中框、智能手表外壳、数码金属配件;
2. 五金卫浴:高端水龙头、门锁、厨卫金属构件;
3. 建筑与汽车:装饰不锈钢板材、汽车内饰金属饰条。
三、半导体、平板显示薄膜
高纯铝钛靶适配微电子洁净镀膜制程,兼具导电与阻挡扩散双重性能。
1.晶圆扩散阻挡层
阻隔铜互连金属离子扩散,提升芯片线路抗电迁移能力,稳定芯片导电结构;
2.TFT面板金属布线
LCD/OLED薄膜晶体管栅极、源漏电极,薄膜均匀性好、附着力强,适配大尺寸显示面板量产;
3.电子器件电磁屏蔽
溅射致密导电薄膜,屏蔽电磁干扰,用于传感器、5G小型元器件。
四、光学功能薄膜
氧化气氛溅射生成AlTiO复合光学薄膜,性能稳定、附着力高。
1. 光学镜头、红外滤光片减反射膜、遮光膜;
2. 光学基板保护膜,隔绝水汽腐蚀,延长光学器件使用寿命。
五、新能源领域应用
1.电池集流体改性
锂电池、钠电池铝箔表面镀AlTi薄膜,提升集流体耐腐蚀性能,抑制金属枝晶,改善电池循环稳定性;
2. 光伏基板导电防护薄膜,提升光伏元件耐候性。
六、航空航天、医疗器械、科研
1.航空轻量化防护
小型航空紧固件、发动机辅件耐磨防腐薄膜;同时AlTi是钛合金冶炼常用中间合金;
2.医用器械涂层
生物相容性良好,耐医用酸碱腐蚀,用于手术刀具、微创器械表面耐磨防护;
3.高校/科研院所专用靶材
用于硬质涂层、光学薄膜、储能新材料研发,支持小尺寸、超高纯度定制,配套质检单、电镜检测数据。