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氧化铝靶材:尖端材料的“隐形推手”,揭秘制备工艺与核心应用
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电镜钯靶材特点及应用概述
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半导体衬底清洗技术
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薄膜衬底材料的一般知识
自 20世纪 70年代以来,薄膜技术得到了飞速发展,无论在学术上还是实际应用中都取得了可喜的成果。薄膜技术、薄膜材料和表面科学的相互结合推动了薄膜产品的全方位发展。随着科学技术的发展,各种特殊用途对薄膜技术和薄膜材料提出了各种各样的要求,首先要求薄膜和衬底材料结合牢固,成膜质量高,常用的薄膜衬底主要包括玻璃衬底、陶瓷衬底、单晶片衬底、塑料衬底和金属衬底等。
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