1、加热方式分为：

　　(1)电阻加热

　　(2)感应加热

　　(3)电子束加热

　　(4)雷射加热

　　2、电弧加热各具有的特点：

　　(1)电阻加热：这是一种最简单的加热方法，设备便宜、操作容易是其优点

　　(2)感应加热：加热效率佳，升温快速，并可加热大容量。

　　(3)电子束加热：这种加热方法是把数千eV之高能量电子，经磁场聚焦，直接撞击蒸发物加热，温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二：高温金属产生的热电子，另一种电子的来源为中空阴极放电。

　　(4)雷射加热：激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上，产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射，而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高，因此准分子雷射的功率密度甚高，用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物，镀膜的品质甚佳.它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异，准分子雷射脱离的是微细的颗粒，后者则是以分子形式脱离。

　　3、电弧加热阴极电弧沉积的优点为：

　　(1)蒸镀速率快，可达每秒1.0微米

　　(2)基板不须加热

　　(3)可镀高温金属及陶瓷化合物

　　(4)镀膜密高且附着力佳。