1. 制备薄膜磁头的耐磨损氧化膜

硬盘磁头进行读写操作时与硬盘表面产生滑动摩擦,为了减小摩擦力及提高磁头寿命,目前磁头正向薄膜化方向发展.

绝缘膜和保护膜(即AL 2 O 3 、SiO 2 氧化物薄膜)是薄膜磁头主要构成成份 .对薄膜磁头的耐磨损膜的要求是耐冲击性好,耐磨性好,有适当的可加工性以及加工变形小,通常采用反应溅射法制备该种薄膜.为了防止基片升温过高,溅射镀膜过程中要对基片进行冷却.

2. 制备硬质薄膜

目前广泛使用的硬化膜是水溶液电镀铬.电镀会使钢发生氢脆,而且电镀速度慢,造成环境污染.如果采用金属Cr靶,在N 2 气氛中进行非平衡磁控溅射镀膜,可以在工件上镀覆Cr、CrN X 等镀层 ,代替水溶液电镀用于旋转轴和其它运动部件.

3. 制备切削刀具和模具的超硬膜

采用普通化学气相沉积技术制备TiN、TiC等超硬镀层,温度要在1000 ℃ 左右,这已经超过了高速钢的回火温度,对于硬质合金来说还可能使镀层晶粒长大.而采用对向靶溅射沉积单相TiN薄膜 ,溅射时间只需10~15min,基片温度不超过150 ℃,得到的 TiN薄膜硬度最高可达HV3800.利用非平衡磁控溅射法制备的TiN镀膜,通过膜层硬度和临界载荷实验以及摩擦实验,表明膜层硬度已经达到和超过其它离子镀膜的效果.

4. 制备固体润滑膜

固体润滑膜如MoS 2 薄膜已成功应用于真空工业设备、原子能设备以及航空航天领域,对于工作在高温环境的机械设备也是毕不可少的.虽然MoS 2 可用化学反应镀膜法制备,但溅射镀膜发得到的MoS 2 薄膜致密性好,膜基附着力大,添加Au(5wt%)的MoS 2 膜,其致密性和附着性更好,摩擦系数更小.

5. 制备光学薄膜

溅射法是目前工业生成中制备光学薄膜的一种主要的工艺 .长期以来,反应磁控溅射技术主要用于工具表面镀制 TiN 等超硬膜以及建筑玻璃、汽车玻璃、透明导电膜等单层或简单膜层.近年来,光通信,显示技术等方面对光学薄膜的巨大需求,刺激了将该技术用于光学薄膜工业化 生产的研究.