电阻加热蒸发源

优点:

1.结构简单、使用方便、造价低廉,因此使用普遍;2.可蒸发蒸发温度小于1500℃的铝、金、银等金属,蒸发一些硫化物、氟化物和某些氧化物.

要求:

1.蒸发源材料的自身熔点要高;

2.饱和蒸汽压要低;

3.化学性能要稳定,且具有良好的耐热性,热源变化时,功率密度变化较小;4.蒸发源对膜材料的"湿润性"好.

电子束加热蒸发源

优点:

1.与电阻加热源相比可以减少污染;

2.能量集中,使膜料局部表面受到很高的温度,而其它部分的温度低.因此,可使高熔点(可以高达3000℃)的材料蒸发,且有较高的蒸发速率;3.可以准确、方便地控制蒸发温度;4.有较大的温度调节范围,对高、低熔点的膜料都适用,适用性宽,特别适合蒸镀熔点高达2000℃左右的氧化物.

缺点:

1.通常蒸镀的膜层较薄;

2.蒸镀的薄膜组分复杂.

激光蒸发源

优点:

1.能蒸发任何高熔点材料,可以蒸发各种材料,且获得很高的蒸发速率;2.与电阻加热蒸发源相比可以减少镀膜受污染;3.非常适合于蒸发化合物或合金;4.与电子束蒸发源相比,它避免了电子束蒸发膜面带电的缺点.

缺点:

1.长时间工作,激光进入钟罩窗口处的透镜会受到影响;2.激光蒸发器比较昂贵,且并非对所有材料都显示其优越性;3.由于蒸发材料温度太高,蒸发粒子(原子、分子、簇团等)多易离子化,从而会对膜结构和特性产生一定影响.

高频感应蒸发源

优点:

1.它是面蒸发,蒸发速率大,可以比电阻蒸发源大10倍左右;2.蒸发源的温度混匀稳定,不易产生飞溅现象;3.蒸发源一次装料,无需送料机构,温度控制较容易,操作比较简单.

缺点:

1.因为接触易造成污染

2.只能蒸发导电的膜料

3.设备必须屏蔽,且需要复杂和昂贵的高频发生器.