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多弧离子反应镀膜设备可镀色彩

中诺新材 2021-12-28

1. 镀银灰色∶用钛靶材,真空镀抽至1.5 ×10-2Pa,充 Ar(氩气)至 1.0×10-1Pa左右镀三分钟左右.(产生 Ti金属层)

2. 镀银白色∶用铬靶材,真空度抽至1.0×10-2Pa,充 Ar(氩气)至1.5×10-1Pa左右镀三分钟左右.(产生 Cr金属层)

3.镀金色∶用钛靶材,真空度抽至1.5×10-2Pa,充Ar(氩气)至1×10-1Pa镀60秒 —关氩气(Ar)—开氮气至2~4×10-1Pa镀4分钟左右.(产生 TiN化合物)

4. 镀古铜色∶用一半钛靶材,一半钛铝靶材,充 Ar(氩气)至 1×10 Pa-1开钛靶镀50秒—关 Ar(氩气)开氮气至1×10-1Pa—开钛靶、钛铝靶—充乙炔150流量左右,氮气调至 3×10-1Pa左右,镀4分钟(加热炉体至 200°C左右).(产生 TiCN和 TiN 化合物)

5. 镀玫瑰金色∶跟古铜色一样操作,只是乙炔在 60 流量左右,氮气调至 2.5×10-1Pa左右(氮气、乙炔要同时加进去反应,乙炔要保持不变,真空度多少只调节氮气流量,古铜跟玫瑰金同样调节).(产生TiCN 化合物)

6.镀五彩色∶用钛靶材,充 Ar(氩气)至1.0×10-1Pa镀1分钟后,关氩气,开N氮气至2.5×10-1Pa镀70秒后关氮气,开氧气 O2至4.5 ×10-1Pa镀160秒左右,(产生 TiO2、Ti2O3等氧化物)

7.镀珠光色∶用钛靶材,充 O2(氧气)在 6.5×10-1Pa~7.5× 10-1Pa不变动,镀40秒左右即可,注意同时引弧,加热炉体至 180°C.(产生 TiO2、Ti2O3等氧化物)

8.镀18K金色∶用锆靶材,充 Ar(氩气)至1.0×10-1Pa镀30秒,关氩气,开氮气至 2~4×10-1Pa左右镀3~4分钟即可.(产生 ZrN化合物)

9.镀土豪金色∶装一半钛靶材,一半错靶材,充 Ar((氩气)1.0× 10-1Pa镀钛靶 30秒后关氩气,开氮气至 2~4×10-1Pa左右,开钛靶、锆靶,镀4分钟左右.(产生 TiZrN化合物)

10.镀透明七彩色(AB 彩)∶用钛靶材,充 O2(氧气)至6.5~7.5×10-1Pa镀4分钟左右,加热炉户温 150°C.(产生 TiO2、Ti2O3;TiO、等氧化物)

11.镀酒红色∶用铁靶材,充O2(氧气)至7.5~9.5×10-1Pa镀4~6分钟,加热炉温150°℃左右,弧焊机电流在150A左右(产生 Fe2O3氧化物).

12.镀琥珀色∶用铁靶材,充O2(氧气)至7.5~9.5×10-1Pa镀1.5~2.5分钟,加热炉温150℃左右,弧焊机电流在 150A左右.(产生 Fe2O3氧化物)

13.镀宝石蓝色,用钛靶材,充 Ar(氩气)至 1.0×10-1Pa镀 60秒后关氯气,开氮气800-900流量,同时开氧气1000-1130流量(真空控制在2.5~3.5×10-1Pa镀110秒左右).(产生 TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和 TiN 化合物的混合膜层)

14.镀紫色∶同十三号工艺,充氮气和氧气的镀膜时间控制在 60-70 秒左右,真空在2.5~3.8×10-1Pa左右即可.

15.镀铬黑色∶用钛 Ti和 铬靶材,先充入氩气Ar在 1×10-1Pa镀60秒左右,关钛靶,开铬靶,关小氯气至 80-120流量再通入 CH乙快气至8~9.0×10-1Pa,镀 300秒左右.(产生 CrC黑色膜层)

16.镀枪黑色∶用钛靶材,充入 Ar气在 1.0×10-1Pa镀60秒后,关小氩气至 80-120流量,再通入 CH乙炔气在 8~9×10-1Pa镀 300秒左右.(产生 TiC化合物膜层).


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