二、镀膜的设备

1.常用的镀膜设备(外形)

1.1.电镀法、化学镀法一般是以槽体流水线形式进行的，设备较为大型，昂贵。

1.2.箱式真空镀膜机(立式)r中门、双门。

1.3.卷绕式真空镀膜机(卧式)

1.4间歇式镀膜机(立式);两箱、三箱。

1.5.大型镀膜流水线:根据客户要求进行设计。

这里没有涉及CVD镀膜设备

2.常用的真空镀膜机(镀膜方式)

2.1.电阻蒸发镀膜机(立式双门、立式钟罩、卧式滚筒、卧式卷绕)。

2.2.电子束蒸发镀膜机(箱式单门，精密度高)。

2.3.离子束辅助蒸发镀膜机(箱式单门，电子束，精密度高，致密性好)

2.4.磁控溅射镀膜机(立式单双门，卧式).

3.各国的真空镀膜机的现状

3.1.德国、美国:历史久，制造技术最强，稳定性最好，价格最高(LEYBOLD、VECOO)。

3.2.日本:制造技术强，稳定性好，价格偏高(新科隆，SHOWA、光驰)。

3.3.韩国、台湾:制造技术较强，稳定性一般，价格略高(因泰卡、韩一、韩国真空、龙翩)。

3.4.中国:制造技术逐渐加强，制造厂家较多，稳定性不好，价格便宜，镀膜的领域正在扩大，镀膜家快速增加，主要应用于饰品、工具、光学、汽车(南光、北仪、兰州真密、上海曙光、沈阳百乐、广东三束、中环)。

4.真空蒸镀镀膜机的相关参数和结构1

4.1.真空蒸镀镀膜机的相关参数

4.1.1.真空室尺寸

4.1.2.最高加热温度

4.1.3.高，低真空泵抽速

4.1.4.膜厚控制精度

4.1.5.蒸发器的参数

4.1.6.离子源的参数

417.连续镀层和时间

4.1.8.充气系统的参数

4.1.9.深冷的参数

4.1.10.操作系统、软件

另外:冷却水、压缩空气，电量

4.真空蒸镀镀膜机的相关参数和结构2

4.2.真空镀膜机的结构(单箱式)主要的结构是:枪、泵、規、室

4.2.1.真空室

4.2.2.工件架

4.2.3.加热器

4.2.4.高、低真空泵

4.2.5.真空计(规)

4.2.6.膜厚控制仪

4.2.7.燕发源(磁控溅射:靶材:蒸镀:膜料)

4.2.8.离子源

4.2.9.气体流量计

4.2.10.深冷

4.2.11.防污板

4.2.12.操作系统(软件）

4.2.13.各连接阀门

辅助：冰水机、过滤器、空压机、稳压电源