七、化学气相沉积法在贵金属材料方面的应用

1、生产贵金属薄膜

贵金属薄膜因其有着较好的抗氧化能力、高导电率、强催化活性以及极其稳定引起了研究者的兴趣。和生成贵金属薄膜的其他方式相比，化学气相沉积法有更多技术优势，所以大多数制备贵金属薄膜都会采用这种方式。沉积贵金属薄膜用的沉积员物质种类比较广泛，不过大多是贵金属元素的卤化物和有机化合物，比如碳酰氯、氯化碳酰铂、氯化碳酰铱、双环戊二烯化合物等等。

某研究团队将蓝宝石、石英玻璃以及氧化钇稳定化的二氧化锆（YSZ）等作为衬底材料，深入研究了贵金属薄膜用作电极材料的可行性。研究中，在化学物沉积时，为了消除掉原料因热分解产生的碳，往装置中通入氧气，制备得出更有金属光泽的贵金属薄膜，如若不然则最后得到的就是铱碳簇膜，也就是纳米等级被晶碳层所包裹的铱颗粒。沉积在YSZ 上面的铱碳簇膜有着优秀的电性能和催化活性。在比较低的温度下，铱碳簇膜的界面电导率能达到纯铱或者纯铂的百倍以上。贵金属和炭组成的簇膜是一种输送多孔催化活性强的簇膜，在电极材料上的使用在未来将很有潜力。

2、生产贵金属铱高温涂层

从20世纪80年代开始，NASA 开始尝试使用金属有机化合物化学气相沉积法制取出使用铼基铱作为涂层的复合喷管，并获得了成功，这时化学气相沉积法在生产贵金属涂层领域才有了一定程度上的突破。

NASA 使用了乙酰丙酮（C15H21IrO6）作为制取铱涂层的材料，并利用 乙酰丙酮的热分解反应进行沉积。铱的沉积速度很快，最高可以达到3~20μm/h。沉积厚度也达到了50μm，乙酰丙酮的制取效率高达 70%以上。

3、钯的化学气相沉积

Pd 及其合金对氢气有着极强的吸附作用以及特别的选择渗透性能，是一种存储或者净化氢气的理想材料。对于Pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。也有些学者使用化学气相沉积法将钯制成薄膜或薄层。具体做法是使用分解温度极低的金属有机化合物当做制备钯的材料，具体包括：烯丙基[β-酮亚胺]Pd（Ⅱ）、Pd（η-C3H5） （η-C5H5）以及 Pd（η-C3H5）（CF3COCHCOCF3）之类的材料，使用这种方式能够制取出纯度很高的钯薄膜。