在扫描电子显微镜（SEM）和能谱分析（EDS）等表面形貌观测中，喷金仪（离子溅射镀膜仪）是制备导电层的核心设备，而靶材的质量直接决定镀膜效果。然而，市场上靶材性能参差不齐，劣质产品可能导致图像噪点、镀层不均等问题。本文深入解析喷金靶材的材料特性、关键尺寸参数，并揭露行业常见“猫腻”，助您科学避坑。

一、喷金仪靶材的特点

1.高纯度：避免杂质污染样品，确保镀膜均匀性和导电性。

2.致密结构：减少溅射过程中的颗粒飞溅，形成均匀薄膜。

3.低熔点材料：如金、铂等，易于溅射成膜，且膜层细腻。

4.尺寸标准化：适配主流喷金仪的靶材腔室设计。

二、常用靶材尺寸

喷金仪靶材通常为圆形薄片，常见尺寸包括：

1.直径：25mm、30mm、50mm、54mm、58mm、 57mm等。

2.厚度：0.1 mm~3 mm（薄片适合短时溅射，厚靶寿命更长）

三、常用靶材材料及特性

1. 金（Au）

特点：

导电性极佳，二次电子产率高，成像效果优。

延展性好，易形成均匀薄膜。

化学稳定性高，但易与硫化物反应（长期存放可能劣化）。

适用场景：常规SEM观察，生物样品、高分子材料等。

2. 铂（Pt）

特点：

比金更耐氧化，膜层更稳定（适合高真空或高温环境）。

颗粒更细腻，适合高分辨率成像（如场发射SEM）。

适用场景：纳米材料、高分辨率SEM或TEM样品制备。

3.钯（Pd）

特点：

化学惰性强，耐电子束损伤。

膜层均匀性优于纯金。

适用场景：EDS分析（减少金峰干扰）或特殊化学环境样品。

4.银（Ag）

特点：

高导电性、成膜均匀性较好。

成像信号强，适合低加速电压下的SEM观察。

价格显著低于金、铂、钯等贵金属靶材。

适用场景：常规SEM观察、低电压成像、临时性EDS分析等

四、选材建议

1.常规SEM：优先选用金或金-钯合金。

2.高分辨率成像：选择铂或铱。

3.EDS分析：避免金靶（Au峰干扰），可选钯或碳。

4.特殊环境：高温或腐蚀性样品用铂或铱。

五、注意事项

1.靶材需定期更换，表面坑蚀严重时会影响镀膜质量。

2.存储时需防氧化（尤其金靶），建议密封干燥保存。

3.不同喷金仪对靶材厚度有要求，需参考设备手册。