钴钽硼靶材的特点及应用
一、核心特点
1. 力学性能突出,硬度远高于单一钴靶,耐磨、抗腐蚀能力强,能延长薄膜使用寿命。
2. 溅射兼容性好,可通过磁控溅射等技术制备均匀致密的薄膜,成膜质量稳定。
3. 成分可精准调控,通过调整钴、钽、硼的比例,适配不同场景的性能需求。
4. 结合力优异,与基材(如钢、陶瓷)的附着力强,薄膜不易脱落、开裂。
二、主要应用
1. 磁性薄膜领域,用于制备高密度磁记录介质、磁性传感器薄膜,提升存储容量和传感灵敏度。
2. 耐磨防护涂层,应用于机械零件、刀具、模具表面,增强其抗磨损和抗腐蚀能力。
3. 电子器件领域,作为半导体、集成电路中的功能性薄膜材料,优化器件导电性和稳定性。
4. 航空航天、汽车工业,用于关键部件的表面改性,提升部件在极端环境下的使用寿命。