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| 加工工艺流程 |
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| 原料备料 | ·····＞ | 熔炼铸锭 | ·····＞ | 成分分析 | ·····＞ | 成型处理 | ·····＞ | 热处理 |
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选取高品质原材料， 部分选择进口料， 以保证靶材品质 |
| 真空感应熔炼、 电子束熔炼、 悬浮熔炼等 |
| ICP-MS、 GDMS、 碳硫,氧氮分析仪 |
| 浇筑，锻造， 轧制，热压， 拉伸等 |
| 消除内部应力 净利细化重排 |
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| 金相探伤检测 | ·····＞ | 机加工成型 | ·····＞ | 外观尺寸检测 | ·····＞ | 清洗终检 | ·····＞ | 包装出库 |
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| 检测内部组织 |
| 切割，车， 铣磨，数控加工 |
| 检测成品外观 及尺寸公差 |
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| 成分质量控制 |
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| 原料成分分析： | 通过ICP，GDMS等设备检测分析，金属杂质含量，确保纯度达标； 通过碳硫分析仪，氮氧分析仪等设备对非金属杂质含量进行检测。 |
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| 金相探伤分析： | 通过探伤设备检测靶材，确保产品内部无缺陷、缩孔； 通过金相测试，检测靶材内部晶粒程度，以保证晶粒细密。 |
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| 外观尺寸检测： | 通过千分尺，精密卡尺，测量产品尺寸，以确保符合图纸要求； 通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度 |
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| 包装及保存说明 |
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| 出库包装： | 内部真空袋真空包装，外部为定制产品靶材盒，纸箱快递运输 |
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| 储存方法： | 收到产品后，需储存于干燥环境，密封包装，轻拿轻放，防压防撞 |
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| 使用注意： | 使用前观察靶材表面是否清洁，带上干净的手套操作，避免直接用手接触物料，勿被油污等异物污染 |
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| 应用领域及适用设备 |
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| 适用设备： | 应用于各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备 |
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| 应用领域： | 科学实验或研究方面应用，微纳加工，器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏、 平面显示、特种涂层等 |
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| 部分品牌： | 国产品牌：北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微纳、 泰科诺等；进口品牌：Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等 |
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